Pengaruh Variasi Jarak, Voltase, Dan Volume Gas Argon Terhadap Ketebalan Coating Tembaga Dengan Logika Fuzzy

Fakhruradi, Fadhil (2023) Pengaruh Variasi Jarak, Voltase, Dan Volume Gas Argon Terhadap Ketebalan Coating Tembaga Dengan Logika Fuzzy. Diploma thesis, UNIVERSITAS ANDALAS.

	Text (cover?&abstrak) Cover dan Abstrak_Fadhil Fakhruradi 1810911021.pdf - Published Version Download (593kB)
	Text (bab 1 pendahuluan) BAB 1_Fadhil Fakhruradi 1810911021.pdf - Published Version Download (184kB)
	Text (BAB V) BAB V_Fadhil Fakhruradi 1810911021.pdf - Published Version Download (163kB)
	Text (Daftar Pustaka) Daftar Pustaka_Fadhil Fakhruradi 1810911021.pdf - Published Version Download (190kB)
	Text (Tugas Akhir Utuh) Tugas Akhir Utuh_Fadhil Fakhruradi 1810911021.pdf - Published Version Restricted to Repository staff only Download (1MB)

Abstract

Salah satu metode untuk membentuk lapisan tipis pada material adalah dengan metode DC Magnetron Sputtering. Mesin DC magnetron sputtering dibagi menjadi tiga bagian utama, yaitu: chamber, power suply, dan pompa vacum. Kaca digunakan sebagai substrat dan Tembaga digunakan sebagai material coating pada substrat. Metode ini menggunakan plasma untuk menghasilkan coating pada permukaan kaca. Penelitian ini mempelajari pengaruh jarak, voltase, dan volume gas Argon terhadap ketebalan coating. untuk mendapatkan ketebalan coating, faktor - faktor yang mempengaruhinya diinterpolasikan dengan metoda Fuzzy. perancangan sistem Fuzzy dibuat dengan menggunakan metode Sugeno. Penelitian ini menggunakan variasi jarak dalam range 2 cm sampai dengan 6cm, kemudian variabel voltase dalam range 26 kV sampai dengan 30 kV. Selanjutnya variasi volume gas Argon dengan variasi dalam range 5 l/min sampai dengan 15 l/min. Toolbox Fuzzy dari Mathlab digunakan untuk menguji dan melakukan perhitungan dari model yang telah dibuat. Ketebalan coating pada substrat akan diukur menggunakan alat coating thicknes gauge. Hasil pengujian didapatkan nilai terkecil adalah 3 μm, Sedangkan ketebalan coating terbesar yaitu 8 μm. dalam penelitian ini dapat diketahui bahwa voltase dan volume gas Argon berbanding lurus dengan ketebalan coating kaca, sedangkan jarak berbanding terbalik dengan ketebalan coating kaca. semakin tinggi voltase dan volume gas Argon diberikan maka plasma yang terbentuk juga semakin bagus. Validasi model Fuzzy dilakukan untuk memastikan sistem tervalidasi. Dari proses verifikasi tersebut, dapat disimpulkan bahwa model Fuzzy telah berhasil dibuat. Kata Kunci: DC magnetron Sputtering, Substrat, Target, Plasma, Logika Fuzzy

Actions (login required)

View Item